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洁净室-联邦标准209

清洁房间几乎没有灰尘或细菌等污染物。

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洁净室保持几乎没有污染物,如灰尘或细菌的要求类型的实验室工作和电子和航空航天设备精密部件的生产。

洁净室的空气质量在联邦标准209“洁净室和洁净区域的空气微粒洁净度等级”(A到D)中进行了描述,其中等级以颗粒的最大数量命名0.5微米或在空气中可以接受的直径更大。

空气中最大粒子数
(每立方英尺空气微粒)
颗粒大小
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5.0μm
1 35 7.5 3. 1
10 350 75 30. 10
One hundred. 750 300 One hundred.
1000 1000 7
10000 10000 70
100000 100000 700

在一个被评为“10000级”的洁净室中,可能不存在超过10000颗粒大于0.5微米在一立方英尺的空气中。

类及其典型用途

  • 1级和10级-电子集成电路生产实验室。
  • Class 100 -照相实验室、医用植入物的生产区。
  • 10000级-电视显像管、医院手术室…
  • 100000级-滚珠轴承的生产

联邦标准209 E使用米制单位,其等级定义为:

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空气中最大粒子数
(粒子/体积单位)
颗粒大小
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
如果 英语 (m3. (英国《金融时报》3. (m3. (英国《金融时报》3. (m3. (英国《金融时报》3. (m3. (英国《金融时报》3. (m3. (英国《金融时报》3.
米1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283
1.5米 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00
米2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 One hundred. 2.83
2.5米 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0
米3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3
3.5米 One hundred. 26500 750 10600 300 3530 One hundred.
米4 75700 2140 30900 875 10000 283
4.5米 1000 35300 1000 247 7.00
米5 100000 2830 618 17.5
5.5米 10000 353000 10000 2470 70.0
米6 1000000 28300 6180 175
6.5米 100000 3350000 100000 24700 700
米7 10000000 283000 61800 1750

注意!联邦标准209E被取消并被国际标准化组织(ISO)标准-取代洁净室及相关受控环境的国际标准ISO 14644。

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